ガスクラスタービームによる究極の加工技術を目指して

独自に開発したガスクラスターイオンビーム(GCIB)を用い、原子レベルでの加工技術への応用を世界に先駆けて進めています。GCIBは数千個のガス原子が結合した粒子であり、低エネルギーで表面のみに高密度エネルギーを与えるため、低温での化学反応促進、表面改質、表面分析など原子レベルの究極の加工技術の実現を目指しています。

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新着ニュース

2021.4.5  応用物理学会機関誌に「ガスクラスタイオン照射を用いた原子層エッチング」で,研究紹介が掲載されました。https://doi.org/10.11470/oubutsu.90.4_239

2021.4.1   新4年生6名が研究室に配属されました。

2021.4.1  竹内 雅耶先生が助教として着任しました。

2021.3.16  応用物理学会 第68回春季学術講演会 7.5イオンビーム一般において,M1 太田 崚樹が,

「中性クラスタービーム照射によるNiエッチングの温度依存性」で口頭発表を行いました。

2021.2.19  修士論文:植松 功多「反応性ガス吸着とGCIB照射によるNi薄膜の原子層エッチング」

劔持 将之「GCIBによるMoS2の表面改質と層数制御」

卒業論文:花原 総一 「Nb系超伝導材料のGCIBを用いた表面活性化接合に向けた研究」

藤原 怜輝 「アセチルアセトンとAr-GCIB照射を用いたSiO2の原子層エッチング」

⽮野 浩基  「加速中性原子ビーム源の開発と特性評価に関する研究」

下間 裕介 「窒素クラスターによるNVセンター作成のための基礎研究」

上記論文がすべて合格となりました。

2021.1.28  日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会 第170回研究会

       「高精度結晶加工のための加工および計測技術」にて

       ”クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチング”として豊田が講演しました。

 

2020.12.10 表面真空学会機関誌「表面と真空」で,研究紹介が掲載されました。

豊田紀章, "ガスクラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用", 表面と真空, vol. 63, No. 12, pp. 623-628 (2020).

 

2020.12.8      電気学会 医療バイオ研究に有効なインターフェースと量子ビーム応用に関する技術調査専門委員会 公開研究会にて,M2 植松が「金属酸化膜へのhfac吸着とGCIB照射による表面反応」で口頭(オンライン)発表しました。

2020.11.12     兵庫県立大学 知の交流シンポジウム2020 第6回セミナーにて,「いよいよ原子レベルに迫る半導体微細加工技術」でオンライン講演を行います。https://chinokouryu.jp/news/

2020.10.4 - 9  ECS PRiME 2020 (online)の G02 - Atomic Layer Deposition Applications 16にて,

​      G02-1662, N. Toyoda "Reactions on Metal Surface and Diketone Induced By Gas Cluster Ions during Atomic Layer Etching" (招待講演)を行います。

2020.9.28~11.30  イノベーションジャパン大学見本市2020(オンライン)に出展しています。

        「高い骨細胞付着性能を有するインプラント用スーパーエンジニアリングプラスチック」

        https://ij2020online.jst.go.jp/exhibitor/un20200342.html

​2020.9.8 応用物理学会第81回秋季学術講演会(オンライン)にて,3件の口頭発表を行いました。

  • [8p-Z25-11] (M2)劔持 将之、豊田 紀章「MoS2のGCIBによる表面改質とエッチング条件の検討」

  • [8p-Z25-12] (M2)植松 功多、 豊田 紀章 「hfac吸着したNiOへのGCIB照射による表面反応」

  • [8p-Z25-13] (M1)太田 崚樹、豊田 紀章「 反応性ガス雰囲気下中性クラスタービーム照射による金属エッチング」

2020. 7.   オープンキャンパス用研究室紹介動画を作成しました。

https://www.youtube.com/watch?v=OJjwMvBZrQs&t=125s

2020. 7.1 ALD/ALE workshop 2020 (online) https://ald2020.avs.org/ にて豊田が招待講演を行いました。

"Surface Reactions Between Metals and Diketone induced by Gas Cluster Ion Bombardments"

2020. 4. 1. 新たな卒業研究生として4名(藤原,花原,下間,矢野)と,博士後期課程(社会人)の下田さんが研究室に加わりました。

2020. 3. 12-15 応用物理学会春季講演会(新型コロナウイルスのためDVD予稿集での発表)で,M1植松「hfac吸着表面へのGCIB照射によるNiの原子層エッチング」と, M1 劔持「GCIB照射を用いたMoS2の表面改質とエッチング(Ⅱ)」で発表しました。

2020. 3. B4 朝倉,太田(修士進学),川西(就職)が学部卒業しました!

2020. 1.21 豊田が日本表面真空学会 第12回関東支部セミナー(物質・材料研究機構)で講演を行いました。 

2019. 12.11-13 セミコン・ジャパン2019(東京ビッグサイト)に出展しました。

2019.10.20-25 豊田がAmerica Vacuum Society 2019(オハイオ州コロンバス)にて口頭発表をおこないました。

2019.9.18-21 応用物理学会秋季学術講演会(北海道大学)で、M1 植松、劔持が発表を行いました。

2019.8.19 

工学部オープンキャンパスが開催されます。

2019.7.29

豊田がALD/ALE workshop 2019 Seattleで"Atomic layer etching of transition metals with gas cluster ion beam irradiation and acetylacetone"という題目で、口頭講演を行いました。